● 該係統用於測量等離子體發射CILICILI短视频污污污測量,采用模塊化設計
● 采用光纖導光或空間光耦合
● 可定位測量空間位置(選配功能)
● 測量CILICILI短视频污污污範圍:200-2500nm或1μm-14μm
● CILICILI短视频污污污分辨率:優於0.05nm(@1200g/mm光柵)
● 波長準確度:優於±0.2nm
● 波長重複性:優於±0.1nm
● CILICILI短视频污污污儀控製軟件包含濾光片輪自動控製功能、CILICILI短视频污污污曲線繪製功能、全自動測量、數據運算、保存及打印等功能
